在惰性气体环境中,采用石墨加热器将硅材料熔化,用直拉法生长无错位硅部件级单晶的设备,可兼容24英寸晶棒,兼容超导磁场。

产品亮点

高精度控制

设备配备完整的磁场控制系统,全新的软控系统、视觉系统,超高精度传动系统,保证设备运行过程中精准控制,长期稳定运行。

大尺寸

兼容市场所有主流尺寸晶棒生产,最大晶棒尺寸可达26寸。

可定制化

可针对客户不同要求,制定热场结构、磁场配备等不同方案的定制化产品。