在高度纯净的环境中,将多晶硅原料熔化,采用直拉法生长高品质、符合集成电路(IC)制造要求的半导体单晶硅设备。

产品亮点

高精度控制

搭载AI智能制造系统,可实现高精度熔料检测、智能断棱检测、快速开叉识别、放肩断棱高效检测、精确引晶凸点检测、全自动化调整与控制。

大尺寸

可定制超大尺寸磁场,最大可达5000Gs水平对置。

品质保障

炉体采用304/316不锈钢立柱,内壁316L电解抛光,全水路流量监控保障设备高品质在线。