碳化硅长晶炉是一种在特定环境下,使碳化硅原料经过气相传输、化学反应等过程,在籽晶上生长出高品质的碳化硅单晶的设备。

产品亮点

专业模拟软件

采用STR专业模拟软件进行SiC晶体生长全周期模拟,为客户提供全套生长方案。

智能控制

搭载智能控制系统,可实现远程集控。

可定制化

可根据需求,定制不同加热方式(电阻式、电感式)。

客户服务

为客户提供热场设计与改良服务,合作攻克工艺难点。