良率高

自有专利的流程设计带来量产中高的良率，镀膜均匀性好。

石英管周期长

通过特殊设计的石英管固定方式和低的耗气量，实现6个月的使用周期。

温场稳定

通过合理的加热丝布局，具有较好一致性好和可控性，从而使温场稳定可控。