FTB150MP是一款6寸手动半导体衬底抛光设备,可用于多种抛光液和抛光垫开发及各种工艺实验用途。 紧凑灵活的设计简化了繁琐的操作、降低了运用成本。
单盘单头6寸以下各种材料均可对应
oscillation抛光液供给conditioner陶瓷抛光盘
针对于研发机构和实验室而研发同时通过触摸屏简单操作