JX300FP是一款12寸全自动Si衬底抛光设备 可以满足客户高精度抛光需求 提供专业的抛光工艺及定制化的接口对应各种工艺路线

产品亮点

高产能

通过8Head
3Platen的结构
有效提高生产产能

高精度

每个Head可分多个区域
进行精密加压
提高工件的平坦度

全功能

标配清洗机
根据工艺需求
可选配HPMJ、在线检测

自动化

SECE/GEM对应

服务快

24H×7天技术对应
2H内提供解决方案
2天内达到现场对应