奥特维

TLT300MP是根据当前实验室客户需求开发的实验用12英寸CMP设备。该设备拥有自主知识产权的创新技术，配备性能优越的抛光单元，兼容8/12英寸晶圆，适用于多种材质，可实现晶圆表面的超高平整度，工艺搭配灵活、满足高精度制程技术需求。