近年来，随着5G、物联网、人工智能等技术不断演进，全球半导体市场持续扩容，设备国产替代进程加快。作为晶体生长设备领域的深耕者，无锡松瓷机电有限公司（以下简称“松瓷机电”）主动应变、精准布局，加快迈入半导体新赛道。

前沿洞察
创新领航

      松瓷机电是无锡奥特维科技股份有限公司（股票代码：688516）旗下控股子公司，依托母公司在光伏设备领域的技术积累与全球化布局，已发展成为全球领先的光伏直拉单晶炉制造商，合作客户覆盖晶科、天合、阿特斯等国内外头部光伏企业，全球市占率稳居前列。
      在深耕光伏主业的同时，松瓷机电凭借多年的晶体生长设备制造经验于2023年正式拓展半导体设备业务，陆续推出硅部件单晶炉、硅部件多晶铸锭炉、IC级半导体单晶炉、碳化硅长晶炉以及配套设备纯化炉等多款半导体产品，同时开设智能车间整线自动化方案业务，满足客户智能化、系统化、高效化的生产需求。

芯光璀璨
成果瞩目

• 产品系列：SC-1600-SP、SC-1700-SP、SC-1800-SP、SC-1600MCZ-SP、SC-1700MCZ-SP
• 副室：Φ650mm、Φ700mm
• 磁场兼容：勾型/水平对置
• 全自动控制系统
• AI智能拉晶+远程集控+整线自动化
• ≥36吋热场及大直径晶棒工艺+无磁场低氧

      松瓷机电2023年9月推出全球首台SC-1600 MCZ SEMI半导体级磁拉单晶炉，最大可拉制26英寸大尺寸晶棒。产品采用全新的提拉结构设计，超高精度传动系统，兼容超导磁场（可选配）。在满足大尺寸晶棒对重量及速度的严格要求下，实现硅部件晶体拉制工艺。硅部件多晶铸锭炉提供定制化服务，可联排炉设计，兼容八角坩埚，配套单次复投30kg加料，实现产能高度翻倍。
      目前，硅部件单晶炉及硅部件多晶铸锭炉已获得韩国知名半导体企业订单，设备在客户现场表现优异，赢得客户高度认可。

IC级半导体单晶炉系列

• 产品系列：SC-1200MCZ、SC-1400MCZ、SC-1600MCZ、SC-1700MCZ
•副室：Φ460mm*5500mm
•最大5000Gs水平对置磁场
•全自动控制系统
•AI智能拉晶+远程集控+整线自动化
•最大拉制4.0m长12吋单晶 
•控径能力≤±0.1mm+锁拉速控制

      此外，松瓷机电推出的IC级半导体单晶炉系列产品，可满足不同尺寸晶棒拉制需求。产品搭载的全新AI智能拉晶系统，利用深度学习算法和AI智能图像解析技术，实现高精度熔料检测、自动降籽晶熔接、智能断棱检测、快速开叉识别等生产过程实时监控，实现包含引晶、放肩、等径、收尾等全过程无人工干预的全自动控制。产品最大可拉制4.0m长12吋单晶，可定制5000Gs超大尺寸磁场，控径能力≤±0.1mm。

通过运用专业的仿真模拟软件，经过反复的热场模拟，适配的机械结构设计，实现设备的高稳定性运行。在满足大尺寸IC级半导体晶棒生产的同时，保证晶体的高品质输出。

碳化硅长晶炉

• 晶锭尺寸：6吋、8吋、12吋
•加热方式：电阻式、电感式
•全自动控制系统
•AI智能拉晶+远程集控+整线自动化
•多温区高精度全流程无波动控温
•定制化服务

      另外，松瓷机电打造的碳化硅长晶炉产品可采用电阻加热、电感加热两种加热方式，兼容8英寸和12英寸长晶，同时配备智能化控制系统，满足长晶过程全自动控制及远程集控，设备稳定性高，产出率高。研发团队使用VR、COMSOL等仿真模拟软件，对SiC热场进行设计及验证，实现设备与热场工艺高匹配度。现阶段8英寸工艺可将籽晶处径向温差控制在10℃-15℃，生长速率150-300um/h，长晶凸度可控制到1-3mm，长晶良率90%以上。凭借大量的仿真数据与长晶经验，松瓷机电可为客户提供定制化热场设计及优化服务，与客户携手合作攻克工艺难点。

碳化硅样品展示

（8inch）

      作为半导体行业一颗冉冉升起的新星，松瓷机电正在用实力一步一个脚印走出一条属于自己的市场之路。未来，松瓷机电将带给半导体市场更多惊喜，一起携手，为半导体行业的蓬勃发展注入强劲动力。